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离子束加工用射频离子源
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离子束加工用射频离子源
标准信息
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目录
前言
1范围
2规范性引用文件
3术语与定义
3.1本底真空 background vacuum
3.2工作气压 working pressure
3.3等离子体放电系统 plasma discharge system
3.4离子光学系统 ion optical system
3.5束能量 beam energy
3.6离子能量半高宽 ion energy full width at half maximum
3.7离子束能宽 ion energy spread
3.8束流密度 beam current density
3.9离子束径 beam size
3.10有效束径 effective beam diameter
3.11束流均匀性 nonuniformity of beam current
3.12束流稳定性 stability of beam current
3.13离子束入射角 ion beam incidence angle
3.14源基距 distance between source and workpiece
4 组成、产品分类及型号
4.1 组成
4.3 产品型号
5 技术要求
6 检验
6.1 外观检测
7 验收
7.1 验收分类
7.4 随产品交付配套文件
8 标志、包装、运输和贮存
8.3 运输
8.4 贮存
附录 A
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